【北大成果】多自由度精密位移平台

发布时间：2019-12-02　　　来源:北大科技成果

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项目简介
多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。

压电二维平台

压电Z轴台

压电式显微操作台


应用范围

本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学,电子显微镜制造商,DNA、细胞及组织检测设备制造商, 纳米材料研究及生产单位。

项目阶段

多自由度精密位移平台重复定位精度：优于1.0μm，最小步长：优于 0.1μm，驱动方式：单相脉冲， 最大速度： 大于 200mm/s， 最大加速度：2g， 最大行程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过100μs。

知识产权

本项目申请了多项专利，其中 2 项发明专利和6 项实用新型专利已经授权，申请了 2 项软件著作权。

研制的具有纳米分辨率六轴压电微机电系统


合作方式

合作开发，技术转让、技术入股。

联系方式

邮箱：kjkfb@pku.edu.cn
项目编号：XJZZ-2019-03

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